勻膠機 型號：AC200-SE

勻膠機 型號：AC200-SE

此款勻膠機共有兩(liang) 種型號：AC200-SE是標準型號，AC200-PE是型號；AC200精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，這是一種程控伺服型精密勻膠機，可以實現價(jia) 值百萬(wan) 美元設備上才能達到的穩定性和均勻性。這款設備采用了不鏽鋼外殼，更加耐久和美觀；采用了工業(ye) 級別的200W的伺服電機係統和與(yu) track設備相同的設計和程序，使工藝更具有實際應用意義(yi) ；AC200在同類產(chan) 品中**的較先達到5000RPM/s的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定性和可重複性。

主要性能指標

1：主機機箱采用不鏽鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）

2：內(nei) 腔采用易清潔、耐腐蝕的高分子材料（HDPE）

3：旋塗程序：多可存100組程序，每組100步，每個(ge) 步驟可到0.1秒

4：旋塗速度：0-10000rpm

5：旋塗加速度：0-50000rpm/s

6：馬達旋塗轉速穩定性能誤差：＜±1rpm（TN-AC200-SE)；＜±0.1rpm（TN-AC200-PE)

7：轉速調節精度及重複性：1rpm（TN-AC200-SE);0.1rpm（TN-AC200-PE)

8：AC200-PE另帶真空數字顯示、開關(guan) 壓力調節和電子水平顯示功能

9：工藝時間設定：0-3000sec/step，時間設置精度：0.1sec

10：支持wafer尺寸：碎片至200mm（8''圓晶）

11：旋塗作業(ye) 均勻性：＜±3%在6英寸範圍內(nei) （需要去除邊緣3毫米測量）

產(chan) 品特性優(you) 點

1：**的內(nei) 部緊湊設計，縮小了設備的尺寸

2: 采用7英寸觸摸屏控製麵板，操作更加便捷

3：采用“密閉碗”設計，可以適應各種材料的勻膠工藝。

4：標準配置的轉速為(wei) 10000rpm，可以根據用戶需要進行定製

5：采用工業(ye) 級的伺服電機，電機*的設計可以避免光刻膠等汙染物進入電機內(nei) 部

6：機身選用耐酸堿、耐衝(chong) 擊、耐腐蝕不鏽鋼，生鏽，便於(yu) 清洗。

7：排風和抽氣係統位於(yu) 載片台的底部，利於(yu) 排風效率和勻膠的均一性

8：透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋塗作業(ye) 時隔絕光阻的溢出及有效有毒氣味的散發。