高精密勻膠機

高精密勻膠機型號：SC200-SE

主要性能指標： 
主機機箱采用不鏽鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）  
旋塗程序：多存100組程序，每組100步，每個(ge) 步驟可到0.1秒  
轉動速度：0-5,000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋塗安全性限定為(wei) 5000rpm  
旋塗加速度：0-10,000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋塗安全性限定為(wei) 10000rpm/s  
馬達旋塗轉速穩定性能誤差 < ±1rpm  
轉速調節精度<1rpm，重複性< 1rpm  
工藝時間設定： 0-3,000 sec/step，時間設置精度：0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶）  
旋塗作業(ye) 均勻性：< ±3% 在6英寸範圍內(nei) （需要去除邊緣3毫米區域測量） 


產(chan) 品特性優(you) 點： 
新的內(nei) 部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。  
7"觸屏控製麵板操作係統，更方便操作。  
Telon ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。  
標準配置轉速5000rpm，並可根據用戶需要進行定製。 
采用工業(ye) 級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等汙染物進入電機內(nei) 部。  
機身選用耐酸堿、耐衝(chong) 擊、耐腐蝕不鏽鋼，生鏽，便於(yu) 清洗。  
排風和抽氣係統位計於(yu) 載片台之底部 （以利於(yu) 排風效率和勻膠均一性）。  
透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋塗作業(ye) 時*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發。 


產(chan) 品外型尺寸： 
　　　　　613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)